《半導體》臺灣廠再生水替代率 臺積電拚2030年達6成

《半導體》臺灣廠再生水替代率 臺積電拚2030年達6成
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臺積電南科再生水廠爲南科園區內首座由民間企業自行投資開發興建的再生水廠,由臺積電委託中鼎(9933)進行投資設計、興建及20年操作營運,爲首度應用於半導體生產的工業廢水再生水廠。營運/廠務副總經理莊子壽指出,工業廢水的處理工序較民生用水多出逾4倍。

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莊子壽表示,水資源對半導體制程尤其重要,面對極端氣候警示及臺灣去年面臨前所未見的乾旱,臺積電肩負環境永續發展重任,承諾減少對環境衝擊、減廢並追求水資源最佳使用效率,考量企業永續發展,集團依循水資源管理策略,致力發展多元創新技術。

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莊子壽說明,半導體制程對水質極爲敏感,須將工業廢水處理到比自然水還純化。此套水資源循環系統實際上耗時8年孕育,從早期在晶圓廠建立小型試產線,經再生水研發團隊優化技術後,再交由中鼎工程建造可量化的再生水廠,如今終於正式通水啓用。

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莊子壽指出,臺積電實踐綠色製造,深耕水資源風險管理,致力拓展多元水資源。歷經多年努力,目前臺灣廠區內倚建立每滴水可重複使用3.5次的水資源循環系統,此次南科再生水廠正式落成啓用,爲全球綠色技術創新的重要里程碑。

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臺積電期待藉此拋磚引玉,吸引各產業共同支持使用再生水,加速相關產業及技術發展。未來將持續積極與政府合作推動再生水計劃,不排除在竹科、中科等地建置再生水廠,目標2030年臺灣廠區再生水替代率達60%。

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